air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用
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過(guò)濾器
相信很多的電腦玩家都知道，電腦中每天都會(huì)進(jìn)無(wú)數(shù)灰塵，影響電腦的性能，有的甚至?xí)氯崞�，�?dǎo)致電腦的溫度長(zhǎng)時(shí)間不下降，所以現(xiàn)在很多人在想如果以后電腦中也裝上過(guò)濾除塵器就好了，專業(yè)人員表示粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響壽力空壓機(jī)配件產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今，半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對(duì)air filter的要求也苛刻。
衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”，即電路上導(dǎo)線的寬度。air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用,在以微米計(jì)算線寬的年代，人們說(shuō)制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機(jī)中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm，此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過(guò)時(shí)了,air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用。
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車間的整個(gè)天花板上布滿高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用,現(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度，只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異。
air filter在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用不論是普通高效過(guò)濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過(guò)逐臺(tái)掃描測(cè)試。國(guó)內(nèi)目前沒(méi)有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)，能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行掃描測(cè)試的。芯片廠的人認(rèn)為，過(guò)濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
看完以上的信息，大家對(duì)于air filter在微電子的重要性及應(yīng)用都了解吧，值得一提的是在現(xiàn)在大部分過(guò)濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘結(jié)劑和清洗劑，為芯片廠供貨的過(guò)濾器廠商要在這上面下些功夫。
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